半导体、核心元器件与先进材料展示范围

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半导体材料与晶圆制造
集中展示从衬底材料到晶圆制造过程中所需的核心材料与工艺技术,是半导体产业的基础支撑。

1. 衬底材料
  • 第一代半导体:单晶硅片(抛光片/外延片)、绝缘体上硅(SOI)
  • 第二代化合物半导体:砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、锗(Ge)
  • 第三代宽禁带半导体:碳化硅(SiC,导电型/半绝缘型)、氮化镓(GaN)、氧化镓(Ga₂O₃)、金刚石、氮化铝(AlN)

2. 制造材料
  • 光刻材料:g线/i线、KrF、ArF(干法/浸没式)、EUV极紫外光刻胶;光掩模版、掩模防护膜(Pellicle)
  • 抛光材料:CMP化学机械抛光液(硅/铜/钨/钴)、抛光垫、修整盘、后清洗液
  • 靶材与金属材料:溅射靶材(铝/铜/钛/钽/钨/钴/镍/铂)、蒸发材料
  • 工艺气体:高纯硅烷/磷烷/砷烷/氨气/三氟化氮/六氟化钨/四氟化碳
  • 湿电子化学品:显影液、蚀刻液(铝蚀刻液/硅蚀刻液)、剥离液、清洗液、稀释剂、缓冲氢氟酸(BOE)

3. 晶圆制造配套
  • 石英制品(石英舟/石英管/石英钟罩)、石墨制品(石墨舟/加热器)、碳化硅涂层部件、高纯陶瓷(氧化铝/氮化硅)
  •  PTFE/PFA高纯管路系统、光刻胶配套试剂(增粘剂/抗反射层)

核心元器件:功率器件与分立器件
聚焦电力电子领域核心器件,涵盖传统硅基与先进宽禁带半导体技术,服务于新能源、工业控制及消费电子。

1. 硅基功率器件
  • 功率MOSFET:低压(<100V)、中压(100V-600V)、高压(>600V)、超级结MOSFET
  • IGBT:分立单管、IGBT模块(PIM/IPM/EconoDUAL/PrimePACK)、逆导型IGBT
  • 二极管:快恢复二极管(FRD)、肖特基二极管(SBD)、瞬态电压抑制二极管(TVS)
  • 晶闸管/功率双极型晶体管:可控硅整流器(SCR)、门极可关断晶闸管(GTO)
  • 功率集成电路(PIC):集成驱动与保护的智能功率开关

2. 宽禁带功率器件
  • 碳化硅(SiC):SiC MOSFET、SiC肖特基二极管、SiC功率模块(全桥/半桥/三相)
  • 氮化镓(GaN):GaN HEMT(增强型/耗尽型)、GaN集成功率IC(集成驱动)
  • 氧化镓(Ga₂O₃):氧化镓功率二极管、氧化镓MOSFET(研发/原型展示)

3. 智能功率模块
  • IPM智能功率模块(家电/工业变频)、PIM功率集成模块(整流/制动/逆变三合一)
  • 电动汽车主驱功率模块(SiC主驱模块/IGBT主驱模块)、光伏逆变器功率单元
  • 双面散热功率模块、全烧结封装功率模块

4. 功率模块配套
  • 陶瓷基板:DBC(氧化铝/氮化铝/氮化硅)、AMB活性金属钎焊基板(Si₃N₄-AMB)
  • 散热基板:铝碳化硅(AlSiC)、铜/钼/铜复合材料
  • 互连材料:绑定线(铝线/铜线/银线/铝带/铜带)、烧结银膏、焊片/焊膏
  • 模块外壳:PPS/PPA工程塑料、铜端子/信号端子

核心元器件:模拟与信号链芯片
用于信号采集、处理、转换与传输的模拟芯片技术,是连接物理世界与数字世界的桥梁。

1. 电源管理芯片
  • DC-DC转换器:降压/升压/升降压、电荷泵
  • LDO低压差线性稳压器:高PSRR/低噪声/超低功耗
  • 电池管理芯片:充电芯片(线性/开关)、电量计、电池保护芯片
  • LED驱动芯片:背光驱动/闪光灯驱动/显示屏驱动
  • PMIC电源管理集成电路:多通道集成电源、应用处理器配套电源
  • 无线充电芯片:发射端/接收端、符合Qi标准的解决方案
  • 氮化镓快充主控芯片:集成GaN驱动的PWM控制器

2. 数据转换器
  • 模数转换器(ADC):高速(流水线型,>100MSPS)、高精度(Δ-Σ型/SAR型,16-32位)
  • 数模转换器(DAC):电压输出/电流输出、乘法DAC
  • 音频ADC/DAC:低功耗/高保真、集成麦克风偏置
  • 隔离式ADC:用于电机驱动/光伏逆变器电流检测

3. 放大器与比较器
  • 运算放大器:通用型/精密型/高速型/低功耗型/零漂移型
  • 仪表放大器:高共模抑制比(CMRR)、医疗/传感器信号调理
  • 差分放大器:用于ADC驱动、高速信号传输
  • 电流检测放大器:高侧/低侧电流检测
  • 高速比较器:纳秒级响应、推挽/开漏输出

4. 接口芯片
  • 高速接口:USB(2.0/3.2/Type-C)、HDMI/DP、PCIe(Gen3/Gen4/Gen5)
  • 串行接口:CAN/LIN(车载)、I²C/SPI(板级通信)、RS-485/RS-232(工业)
  • 隔离接口芯片:隔离式RS-485/CAN/SPI、数字隔离器

5. 时钟与定时
  • 时钟发生器:锁相环(PLL)内核、多输出时钟
  • 时钟缓冲器:零延迟缓冲、扇出缓冲
  • 实时时钟(RTC):集成晶振/温度补偿
  • 硅振荡器:全集成MEMS振荡器、可编程频率

6. 专用模拟芯片
  • 触摸控制器:电容式触摸、互电容/自电容
  • 马达驱动芯片:直流有刷/无刷电机驱动、步进电机驱动
  • 传感器信号调理芯片:压力传感器/热电偶/RTD专用AFE
  • 隔离器与隔离驱动:电容/磁耦隔离、栅极驱动(光耦/磁耦/容耦)

核心元器件:传感器、执行器与射频芯片

展示感知物理世界、实现无线通信及执行控制的关键芯片技术,广泛应用于消费电子、汽车电子及物联网。

1. MEMS传感器
  • 压力传感器:电容式/压阻式、绝对压力/差压/表压
  • 惯性传感器:加速度计(1-6轴)、陀螺仪(振动式/谐振式)、IMU惯性测量单元
  • 磁传感器:霍尔开关/线性霍尔、磁阻传感器(AMR/GMR/TMR)
  • 麦克风传感器:MEMS麦克风(模拟/数字/差分)、骨传导麦克风
  • 气体传感器:金属氧化物(MOX)型、热电堆NDIR气体传感器
  • 流量传感器:热式/差压式质量流量计
  • 微镜阵列:用于激光投影/光开关/LiDAR扫描

2. 图像传感器
  • CMOS图像传感器:卷帘快门/全局快门、BSI背照式/FSI前照式
  • CCD图像传感器:高灵敏度、科学级成像
  • 全局快门传感器:用于工业机器视觉/扫码/追踪
  • 车载摄像头传感器:高动态范围(HDR)、LED闪烁抑制(LFM)
  • 事件视觉传感器(DVS):动态视觉感知、超低延迟

3. 环境与生物传感器
  • 温度传感器:模拟/数字输出、热电偶/热敏电阻接口
  • 湿度传感器:电容式/电阻式、集成温度补偿
  • 光学传感器:环境光传感器(ALS)、接近传感器(红外LED+PD)、颜色传感器、光谱传感器
  • 生物传感器:电容/电感式指纹传感器、心率/血氧监测传感器、葡萄糖传感器

4. 射频芯片
  • 射频前端:射频开关(SPST/SPDT/SPnT)、低噪声放大器(LNA,Sub-6G/毫米波)、功率放大器(PA,GaAs/GaN/SiGe)
  • 射频前端模组(FEM):集成PA/LNA/开关的Wi-Fi FEM、手机射频模组(PAMiD/FEMiD)
  • 射频收发器:宽带零中频/低中频架构、软件定义无线电(SDR)
  • 毫米波芯片:24GHz/60GHz/77GHz/79GHz雷达收发器、相控阵波束赋形芯片
  • 无线连接芯片:Wi-Fi/BT Combo芯片、UWB超宽带芯片、Sub-1G收发器
  • 卫星导航射频芯片:GPS/BDS/GLONASS/Galileo多模接收器

5. 微波与毫米波器件
  • 毫米波天线封装(AiP):基于FCBGA/FOWLP的集成天线封装
  • 波导元件:矩形/圆形波导、波导滤波器/耦合器
  • 环行器/隔离器:铁氧体基、微带/波导接口
  • 介质谐振器:温度稳定型、高Q值介质材料
  • 微波功率器件:GaN-on-SiC HEMT、LDMOS射频功率管

先进封装、集成与互连技术
聚焦芯片后道制造环节的前沿技术,展示从传统封装到先进系统集成的创新成果。

1. 先进封装技术
  • 晶圆级封装(WLP):扇入型(Fan-in)、扇出型(Fan-out,InFO/FOWLP)
  • 扇出型面板级封装(FOPLP):大尺寸载板、低成本异构集成
  • 系统级封装(SiP):2D/2.1D/2.5D/3D SiP、无源器件集成
  • 芯粒(Chiplet)技术:UCIe标准接口、多芯粒集成
  • 异构集成(HI):逻辑+存储+模拟异质集成
  • 硅通孔(TSV):Via-middle/Via-last、高深宽比TSV
  • 玻璃通孔(TGV):用于玻璃中介层/射频封装
  • 嵌入式多芯片互连桥(EMIB):局部高密度互连

2. 封装形式
  • 球栅阵列封装(BGA):PBGA/CABGA/TEPBGA
  • 栅格阵列封装(LGA):触点数高、焊接可靠性好
  • 方形扁平无引脚封装(QFN):多排QFN、倒装QFN
  • 芯片级封装(CSP):晶圆级CSP、扇出型CSP
  • 倒装芯片球栅阵列(FCBGA):高性能计算/服务器GPU封装
  • 倒装芯片级封装(FCCSP):移动应用处理器封装
  • 功率模块封装:全烧结SiC模块、双面直接冷却模块
  • 双面冷却封装:上下双面散热通道

3. 封装材料
  • 有机封装基板:BT树脂基板、ABF味之素堆积膜基板(用于FCBGA)
  • 陶瓷基板:HTCC高温共烧陶瓷、LTCC低温共烧陶瓷
  • 硅/玻璃中介层:无源硅中介层、高电阻率玻璃中介层
  • 引线框架:冲压型/蚀刻型、铜合金/铁镍合金
  • 键合线:金线(<25μm)、铜线/银线、铝线(功率器件)
  • 倒装芯片凸点:焊球(SAC305/SnAg)、铜柱(Cu Pillar)、微凸点
  • 环氧塑封料(EMC):高导热/低应力/绿色环保
  • 底部填充胶(Underfill):毛细流动型/非流动型、模塑底部填充(MUF)
  • 芯片粘贴胶:导电银胶、绝缘胶、烧结银膏
  • 液态密封剂:芯片边缘保护、焊点保护

4. 封装设备
  • 划片机:刀片划片/激光划片/等离子划片
  • 贴片机:高精度倒装贴片、多芯片贴装
  • 固晶机:共晶固晶/环氧固晶、多芯片堆叠固晶
  • 引线键合机:球焊/楔焊、铜线/银线/金线键合
  • 倒装焊机:热压焊/回流焊、N₂保护焊接
  • 塑封压机:传递成型/压缩成型、多柱塞系统
  • 切筋成型设备:分离/成型/打弯一体机
  • 电镀设备:局部镀/卷对卷电镀、锡铅/纯锡电镀
  • 激光打标机:CO₂/光纤/绿光/紫外打标

热管理与可靠性测试
展示保障芯片性能与长期可靠性的热管理解决方案及测试验证技术,是高端芯片应用落地的关键支撑。

1. 界面导热材料
  • 导热硅脂:高导热系数(>10W/m·K)、低热阻
  • 导热凝胶:点胶式/印刷式、高压缩性
  • 导热垫片:玻纤增强/陶瓷填充、可压缩厚度0.5-5mm
  • 相变材料:常温固态/工作温度液态、低热阻
  • 液态金属导热材料:镓铟合金、高导热(>50W/m·K)
  • 导热胶带:丙烯酸/硅胶基材、双面覆胶

2. 高效散热器件
  • 热管:烧结芯/沟槽芯/复合芯、直径3-12mm
  • 均温板(VC):铜基/钛基、超薄型(手机用)
  • 散热器:铝挤/压铸/铲齿/冲压/铜铝复合
  • 风扇/鼓风机:轴流/离心/横流、PWM调速
  • 热管模组:CPU/GPU散热模组、服务器散热模组
  • 水冷板:通道式/针翅式/微通道、铜/铝材质

3. 液冷技术
  • 单相液冷系统:水-乙二醇溶液、去离子水
  • 两相液冷系统:氟化液沸腾相变冷却
  • 冷板式液冷:服务器冷板/芯片级冷板
  • 浸没式液冷:单相浸没/两相浸没、氟化液冷却
  • CDU冷却分配单元:换热模块/泵组/控制系统
  • 液冷连接器:盲插式/手插式、防泄漏设计
  • 冷却液:去离子水/氟化液(FC-72/FC-770)/乙二醇溶液

4. 测试设备
  • 自动测试设备(ATE):存储器测试机、SoC测试机、模拟/混合信号测试机、射频测试机
  • 探针台:手动/半自动/全自动、高低温探针台(-60°C~300°C)
  • 分选机:重力式/转塔式/平移式/三温分选
  • 晶圆级可靠性测试系统:WLR测试、在线可靠性监控
  • 老化测试系统:HTOL高温工作寿命测试、HTS高温储存、TC温度循环、HAST高加速温湿度应力测试
  • 三温测试系统:常温/高温/低温三温测试

5. 失效分析设备
  • 扫描电子显微镜(SEM):CD-SEM关键尺寸量测、缺陷复查
  • 透射电子显微镜(TEM):原子级结构分析
  • 聚焦离子束(FIB):截面加工/透射电镜样品制备
  • X射线检测系统:2D X-ray(手动/自动)、3D CT/X-ray显微镜
  • 红外热成像仪:热分布/热点定位、锁相热成像
  • 微光显微镜(EMMI):漏电点/击穿点定位
  • 光发射显微镜(OBIRCH):电阻/金属缺陷定位
  • 声学扫描显微镜(SAM):分层/空洞/裂纹检测
  • 电子束探针(E-Beam Probing)/激光电压成像(LVI):芯片内部节点波形测量

6. 可靠性试验
  • 温度循环试验箱:两箱/三箱法、液冷式温度冲击
  • 高压蒸煮试验箱(HAST):非饱和/饱和型、温湿度偏压试验
  • 高加速寿命试验系统:HALT/HASS、六自由度振动
  • 抗静电能力测试:HBM人体模型/CDM充电器件模型/MM机器模型
  • 闩锁效应测试:过流触发/过压触发
  • 电磁兼容测试:辐射发射/传导发射、辐射抗扰度/传导抗扰度

EDA/IP核与芯片设计服务
展示支撑芯片前端设计的软件工具、核心知识产权及设计服务,是集成电路产业的“大脑”。

1. EDA软件
  • 模拟/混合信号设计工具:原理图编辑、SPICE仿真(HSPICE/Spectre/PSPICE)
  • 数字前端设计工具:逻辑仿真、逻辑综合、静态时序分析(STA)、形式验证
  • 数字后端设计工具:布局布线、时钟树综合、物理验证(DRC/LVS/ERC)、寄生参数提取
  • PCB设计工具:原理图设计、布局布线、信号完整性/电源完整性分析
  • 多物理场仿真软件:热-电-力耦合仿真、电磁场仿真(HFSS/COMSOL)
  • 电磁仿真软件:RF/微波器件仿真、天线仿真
  • 良率分析与优化平台:工艺偏差分析、良率预测/提升

2. IP核
  • 处理器IP:CPU(ARM/RISC-V/MIPS)、GPU、DSP、NPU(神经网络处理器)
  • 接口IP:PCIe(Gen3/4/5/6)、USB(2.0/3.2/4.0)、DDR(DDR4/5/LPDDR4/5)、HDMI/DP、MIPI(CSI/DSI)、Ethernet(10/25/100G)
  • 模拟IP:ADC/DAC、PLL、PMIC IP、SerDes
  • 存储IP:SRAM Compiler、ROM Compiler、非易失性存储器IP(EEPROM/Flash/MRAM)
  • 安全IP:加解密引擎(AES/SHA/RSA)、真随机数发生器(TRNG)
  • AI加速IP:卷积神经网络加速器、矩阵运算加速单元
  • 射频IP:蓝牙/Wi-Fi射频前端IP、毫米波收发IP

3. 设计服务
  • 芯片设计服务:SoC/ASIC全流程设计、Turnkey解决方案
  • MPW多项目晶圆服务:工艺节点覆盖(180nm-3nm)、多项目流片
  • ASIC定制设计:从规格到GDSII的全定制设计
  • FPGA原型验证:基于FPGA的ASIC原型验证平台
  • 设计验证与仿真:功能验证/形式验证/硬件加速仿真
  • 物理设计:布局布线/时钟树综合/物理签核
  • DFT可测性设计:扫描链插入/BIST/边界扫描
  • DFM可制造性设计:OPC/RET辅助设计
  • 封装设计:基板设计/系统级封装(SiP)协同设计
  • 测试程序开发:ATE测试程序/老化测试程序

4. 设计平台
  • 云设计平台:云端EDA工具/弹性算力/设计数据管理
  • 协同设计环境:版本控制/任务管理/跨地域协作
  • 设计数据库管理:IP库管理/工艺库管理
  • IP管理平台:IP检索/评估/集成支持
  • 设计方法学解决方案:低功耗设计流程/车规级设计流程/安全设计流程

晶圆制造与工艺设备
展示芯片前道制造环节的核心工艺设备,体现半导体装备制造的最高水平。

1. 光刻设备
  • 步进扫描投影光刻机:ArF浸没式(193i)、KrF、i-line
  • 极紫外光刻机(EUV):13.5nm波长、高数值孔径(High-NA)
  • 无掩模直写光刻机:激光直写、电子束直写(用于掩模版制作/原型验证)
  • 纳米压印光刻设备:热压印/紫外压印、模板复制技术
  • 光刻胶涂胶显影机:簇式涂布/显影单元、HMDS增粘处理

2. 薄膜沉积设备
  • PECVD:等离子体增强化学气相沉积(SiO₂/SiN/SiON)
  • LPCVD:低压化学气相沉积(多晶硅/氮化硅/掺杂硅)
  • ALD:原子层沉积(高k介质/金属栅极/阻挡层)
  • 溅射台(PVD):磁控溅射(Al/Ti/TiN/Ta/TaN/Cu)
  • 蒸发镀膜设备:电子束蒸发/热蒸发(金属电极/光刻胶金属化)
  • 外延生长设备:MOCVD(GaN/SiC/化合物半导体)、MBE分子束外延

3. 刻蚀设备
  • ICP刻蚀:电感耦合等离子体刻蚀(硅深槽/化合物半导体)
  • CCP刻蚀:电容耦合等离子体刻蚀(介质刻蚀/金属刻蚀)
  • RIE反应离子刻蚀:平行板结构、各向异性刻蚀
  • 离子束刻蚀:物理溅射刻蚀、无化学反应的纯物理刻蚀
  • 深硅刻蚀(DRIE):Bosch工艺、低温刻蚀
  • 湿法刻蚀设备:批式/单片式、酸槽/碱槽刻蚀

4. 离子注入与扩散
  • 高能离子注入机:能量>200keV、深阱注入
  • 中束流离子注入机:能量5-200keV、阈值调整注入
  • 大束流离子注入机:高剂量注入、源漏注入
  • 高温扩散炉:卧式/立式、氧化/退火/合金化
  • 快速热处理(RTP):毫秒级退火/尖峰退火、激光退火

5. CMP化学机械抛光
  • 抛光机:单面抛光/双面抛光、晶圆尺寸兼容(6-12英寸)
  • 抛光后清洗设备:刷洗/兆声清洗/旋转干燥
  • 终点检测系统:光学终点检测/电机电流检测

6. 清洗设备

  • 单晶圆清洗系统:单片旋转喷淋/兆声扫描
  • 批式清洗系统:湿法台(RCA清洗/SC1/SC2/DHF)
  • 兆声清洗设备:高频兆声(0.8-2MHz)、颗粒去除
  • CO₂雪花清洗设备:低温喷射、颗粒去除/表面活化

7. 计量与检测
  • 膜厚测量仪:光学反射谱/椭偏仪/XRF/XRR
  • 关键尺寸CD-SEM:亚纳米级关键尺寸量测
  • 套刻精度测量仪:基于光学成像/衍射的OVL测量
  • 缺陷检测设备:明场/暗场检测、电子束缺陷复查
  • 颗粒计数器:液体颗粒计数/气体颗粒计数
  • 应力测量仪:曲率法应力测量、拉曼光谱应力分析

第三代半导体与特色工艺
聚焦宽禁带半导体材料、器件及制造工艺的完整产业链,展示其在高温、高频、高压场景的独特优势。

1. 碳化硅(SiC)
  • 衬底与外延:导电型SiC衬底(4H/6H)、半绝缘SiC衬底、SiC同质外延片(N型/P型)
  • 功率器件:SiC肖特基二极管(650V-3300V)、SiC MOSFET(平面栅/沟槽栅,650V-3300V)
  • SiC功率模块:全SiC模块(两电平/三电平)、混合SiC模块(Si IGBT+SiC SBD)
  • SiC晶圆制造设备:高温离子注入机(>500°C)、高温氧化炉(>1300°C)、高温退火炉(>1600°C)
  • SiC衬底加工:多线切割/激光剥离、CMP抛光(表面粗糙度<0.2nm)

2. 氮化镓(GaN)
  • 外延片:GaN-on-Si(6/8英寸)、GaN-on-SiC(4/6英寸)、GaN-on-Sapphire(LED/射频)
  • 功率器件:GaN HEMT(增强型p-GaN栅/耗尽型)、GaN集成功率IC(集成驱动/逻辑)
  • 射频器件:GaN HEMT(L/S/C/X波段)、GaN MMIC功率放大器
  • GaN光电器件:GaN基Micro-LED、紫外LED(UVA/UVB/UVC)
  • GaN制造工艺:AlGaN/GaN异质结生长、欧姆接触/肖特基接触、场板/栅场板技术

3. 氧化镓(Ga₂O₃)
  • 衬底与外延:β-Ga₂O₃单晶衬底(EFG法/CZ法)、Ga₂O₃同质/异质外延片
  • 功率器件:Ga₂O₃肖特基二极管、Ga₂O₃ MOSFET(耗尽型/增强型)
  • 氧化镓优势:超宽禁带(~4.8eV)、高击穿场强(~8MV/cm)
  • 制造挑战与进展:导模法生长、离子注入掺杂、背面减薄技术

4. 金刚石
  • 衬底材料:单晶金刚石(HPHT/CVD)、多晶金刚石(热丝CVD/微波等离子CVD)
  • 散热应用:金刚石散热片(热沉)、金刚石衬底GaN异质集成
  • 功率器件:金刚石肖特基二极管、金刚石FET(研发阶段)
  • 探测器:金刚石辐射探测器(深紫外/X射线/粒子探测)

5. 特色工艺
  • 超结工艺:多外延/深槽刻蚀填充、电荷平衡设计
  • 深沟槽刻蚀:高深宽比(>50:1)、Bosch工艺/低温刻蚀
  • 场板技术:源场板/栅场板/漏场板、电场优化
  • 终端技术:结终端扩展(JTE)、场限环(FLR)、斜台面终端
  • 边缘终止技术:台面刻蚀/保护环、高电压阻断能力
  • 薄片背面减薄技术:晶圆减薄至50-100μm、背面金属化
  • 双面散热封装:芯片双面焊接/双面接触、热阻降低

产业生态与创新应用
汇聚半导体产业配套服务资源,展示芯片技术在重点领域的创新应用成果。

1. 产业服务
  • 半导体产业园区:集成电路设计产业园、特色工艺产业园、化合物半导体产业园
  • EDA/IP交易平台:云端IP授权、IP核在线评估/下载
  • MPW服务平台:多项目晶圆流片代理、工程批/小批量流片
  • 流片服务:MPW流片/全掩膜流片、工艺节点覆盖(成熟制程/先进制程)
  • 失效分析服务:物性失效分析/电性失效分析、开封/去层/探针/成像
  • 可靠性测试服务:JEDEC标准/AEC-Q100车规级/ESD测试
  • 芯片鉴定服务:功能验证/性能测试/一致性测试
  • 二手设备交易平台:翻新光刻机/刻蚀机/沉积设备、设备备件交易
  • 晶圆再生服务:测试晶圆回收/再生/再销售

2. 创新应用展示
  • 汽车芯片:智能座舱芯片(SoC/仪表芯片)、自动驾驶芯片(ADAS SoC/域控制器)、车身控制芯片(BCM/MCU)、电池管理芯片(AFE/平衡芯片)
  • AI芯片:云端AI芯片(训练/推理)、边缘AI芯片(智能终端/安防/工业)、NPU神经网络处理器、类脑芯片
  • 物联网芯片:低功耗MCU(Cortex-M0/M4/RISC-V)、无线连接芯片(Wi-Fi/BLE/Thread/Zigbee)、NB-IoT/eMTC芯片
  • 通信芯片:5G基带芯片(Sub-6G/毫米波)、5G射频前端(PA/LNA/滤波器/FEM)、Wi-Fi 6/7芯片、光通信芯片(CDR/TIA/激光驱动器)
  • 工业控制芯片:工业MCU/DSP、FPGA(可编程逻辑/自适应计算)、工业以太网芯片(EtherCAT/Profinet)
  • 消费电子芯片:手机主控(AP/SoC)、TWS耳机芯片(蓝牙音频/ANC主动降噪)、智能穿戴芯片(低功耗/多传感器融合)
  • 存储芯片:DRAM(DDR4/5/LPDDR4/5/GDDR6)、NAND Flash(3D NAND/SLC/MLC/TLC/QLC)、闪存控制器(SD/eMMC/UFS/SSD)

3. 产学研成果
  • 高校/研究所芯片设计成果:原型芯片展示、科研项目转化、专利技术许可
  • 国产替代芯片展示:CPU/GPU/DPU国产化、模拟芯片国产替代、功率器件国产化
  • 芯粒(Chiplet)生态联盟:UCIe产业联盟、Chiplet接口标准推广、异构集成参考设计
  • 开源指令集(RISC-V)生态:RISC-V处理器核、RISC-V开发板/IDE、RISC-V软件生态
  • 国产EDA工具链:数字前端/后端EDA工具、模拟全流程EDA工具、先进工艺PDK支持
  • 自主可控IP核:RISC-V CPU IP、国产接口IP(PCIe/DDR/USB)、国产安全IP

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